1. 개요
Clean Room은 LSI나 초 LSI의 제조공정과 같이 제품의 품질을 향상시키기 위한 공업용 크린룸과 의약품,식료품 등의 제조 또는 의료기술의 시행을 위한 바이오 크린룸으로 구별되며, 일반적으로 기밀성이 높은 폐쇄공간으로 온,습도와 크린도를 일정하게 유지하기 위하여 에너지 소비가 많다. 따라서 크린물의 설계시에는 성능보장과 안에서 일하는 사람들의 안정성이 보장될 수 있도록 시스템이 결정되어야 한다.
2. 계획시 유의사항
1) 고 신뢰성의 전원계획
전원의 질(전압, 주파수), 허용정전시간(점검시간), 시스템확인 검토.
전원의 Back-up체제 구축.
- 수전방식 : LOOP, 2회선, SPOT NETWORK수전 등 채택.
- 변압기 뱅크 구성 : 변압기 1대의 사고시에도 전부하 용량을 수용할 수 있는 용량의 선정 및 구성의 활성화.
백업 전원
- 외부 및 구내사고 등에 의한 정전에 대비하여 축전지설비, 자가발전설비, UPS 등 백업전원 구성.
간선
- LOOP간선으로 사고에 대처한다.
시스템을 간소화하고 신뢰성 높은 기기를 사용한다.
외부로부터 전원이 NOISE 장해를 받지 않도록 한다.
2) 안전성이 높은 전기설비
고조파 제거장치 설치, 정전기 장해방지용 접지, 서지제거 장치, 화재탐지설비, 가스탐지설비, 비상방송설비, 호출장치, 유독가스 중독등에 대비하여 외부에서 크린룸 내부를 감시할 수 있는 CCTV시설.
3) 에너지 절약형 시설
크린룸은 공조설비를 포함해서 에너지 다소비 기구가 많다. 따라서, 제품원가에 미치는 영향이 커지므로 작은 에너지절약이라도 축적되어 효과를 거둘 수 있도록 한다.
4) 정보전달이 쉬운설비
밀폐공간에서 작업하므로 작업자의 심리적 안정성과 작업성 생산성을 높이기 위해 충분히 검토된 정보전달 방법이 필요하다. 따라서 전화, 인터폰, 시계설비, CCTV, BGM(Back Ground Music), Paging설비, LAN설비도 고려한다.
5) 생력화에 대응한 설비
작업과 보수관리 부문의 생력화를 위하여 중앙감시설비를 채용한다.
6) 양호한 환경조성의 전기설비
6-1) 시환경
자연조명이 없으므로 인공조명이 중요하다 따라서 방의 사용법, 제약조건 등을 충분히 파악한 후 조도의 크기, 등기구의 배치, 눈부심의 강약 및 램프교환에 따른 유지보수와 청소에 세심한 배려를 한다.
6-2) 청환경
소음이 있을 경우 빛이나 문자에 의한 정보전달 방법도 고려 하여야 한다.
7) 융통성 있는 전기설비
장래에 시설개조나 증,개축에 대처할 수 있는 유연한 설비.
3. 크린룸 정전시의 특징
· 생산 라인의 제품 대부분이 불량품이 된다.
· 각 장치에 공급되는 원자재의 대부분을 교체해야 한다.
· 정상회복까지의 시간과 비용이 소요된다.
· 시간의 연속성이 중시되는 실험 등을 처음부터 다시 해야 한다.
4. 크린룸 전기설비의 실제
· 먼지발생이 없는 장치 사용
· 먼지가 쌓이지 않도록 배전반, 스위치, 조명등 등은 매입형으로 설치.
· 배관은 매입 설치.
· 정전기 방지용 접지 실시.
· 관통부는 공기가 침입하지 않도록 한다.
· 기구는 청소를 충분히 하여 설치 한다.
· 기계기구는 약품에 부식 및 화학변화가 없는 재질로 선정한다.
· 필요시에는 방폭구조로 한다.
· 정전, Noise, 보수대책 등이 수립된 전원을 공급한다.
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